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　　麥?zhǔn)险婵沼?jì)是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測(cè)量壓強(qiáng)的真空計(jì)，其基本原理如圖1所示。真空計(jì)內(nèi)部有兩個(gè)空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。
 

　　如果p1和p2之間的壓強(qiáng)差很小時(shí)，隔膜的變形也很小，要準(zhǔn)確地測(cè)量真空度，需要隔膜更薄?？墒牵绻麅蓚?cè)壓強(qiáng)差很大，則隔膜可能發(fā)生變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測(cè)量直流電壓值，即可知壓強(qiáng)，這種真空計(jì)被稱為單電容真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動(dòng)式雙電容真空計(jì)，進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和范圍。
 

　　隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。
 

　　麥?zhǔn)险婵沼?jì)測(cè)量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測(cè)量。
 

　　選用麥?zhǔn)险婵沼?jì)時(shí)應(yīng)該注意以下事項(xiàng)：
 

　　(1)在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計(jì)是否有足夠的測(cè)量精度;
 

　　(2)被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷;
 

　　(3)真空計(jì)是否會(huì)對(duì)被測(cè)真空環(huán)境造成影響;
 

　　(4)真空計(jì)所測(cè)壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān);
 

　　(5)真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量，數(shù)值指示及反應(yīng)時(shí)間如何;
 

　　(6)真空計(jì)的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。